キャピラリーコーター 小型基板・小容量対応
設備説明
本機は、小型タンク採用により必要液量を極小化し、小型基板・小容量タイプのキャピラリーコーターとして開発されたテスト機です。 専用のクリーンルームに配置し、清浄な環境が要求される製品に特化した塗布装置です。
装置スペック
| 基板サイズ | Max.150×200mm |
|---|---|
| 基板厚み | 0.5～4㎜ |
| 機械速度 | 0.3～6m/min |
| 塗布膜厚 | 0.05～5.0μm（DRY） |
| 適応粘度 | Max.30mPa･s |
| 必要液量 | Min.50cc |
| 湿度 | 20%以下 |
| 酸素濃度 | 5%以下 |
塗工方式
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